フッ素引き抜き

トリクロロシランを飛ばしてメガネレンズにくっ付けたら、表面の反射防止コーティングが剥げてしまいました。
普通、コーティングって低屈折率の物質を蒸着するんですけど、主流の MgF2だったようです。
クロロシランがフッ化物と反応して、フルオロシランになったということでしょう。
さすがに Si-F は強かった。