こんなものです。もとは膜厚測定のエリプソメーターのなれの果てです。 複円にするには、ｘｙｚステージの上に回転ステージとユーセントリックゴニオがいります。 あとはレーザー光源とフォトマルです。 今はxyzの上にチルト機構が乗っているので、これを取…