ケイ素

多結晶のケイ素。破断面。

半導体グレードの単体ケイ素は、不純物によって特性が変化するため、純度を極端に上げることが必要です。
で、コストが安く純度を上げるためには蒸留がよいので、蒸留できる前駆体に誘導します。
現行の手法では、ケイ素単体からトリクロロシラン HSiCl₃ に変換し、これを蒸留精製し、また分解して高純度ケイ素を得ます。
今回の標本は、トリクロロシランを水素気流中で熱分解して生成したものです。
表面はこんな感じ。多結晶のもこもこです。

これをさらに単結晶化して、スライスしてシリコンウェハに持って行きます。