解像度を上げるには、すなわち近紫外の単色光を用い、ローパスを取っ払って写真を撮ればいいんですよね。
さて、光源とフィルターどうしましょう。
レンズはこの間の S-Planar 25/1.6 でいいや。
こいつはこの領域では 1000本/mm の解像を叩き出すレンズだし。絞りないけど。
狭帯域干渉フィルター ED 43104-1 (for 405 nm; h-line), \23700!
→問題は、SEM とどういう風に区別化するかです。
分解能、被写界深度は到底 SEM にはかなわないし。
色情報を捨てるだけのメリットがあるかどうか。